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光學膜厚儀
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光學膜厚儀

類型 自主產品
型號 TF200
品牌 貝拓科學
產品詳情

儀器介紹   

TF200薄膜厚度測量系統利用薄膜干涉光學原理,對薄膜進行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線。TF200根據反射回來的干涉光,用反復校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜,還可以測量nk值。

產品特點

快速、準確、無損、靈活、易用、性價比高

應用領域

半導體(SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS,SOI等)

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO)

LED (SiO2、光刻膠ITO等)

觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)

汽車(防霧層、Hard Coating DLC等)

醫學(聚對二甲苯涂層球囊/導尿管壁厚藥膜等)

技術參數


型號
TF200-VIS
TF200-EXR
TF200-DUV
TF200-XNIR
波長范圍
380-1050nm
380-1700nm
190-1100nm
900-1700nm
厚度范圍
50nm-40um
50nm-300um
1nm-30um
10um-3mm
準確度1
2nm
2nm
1nm
10nm
精度
0.2nm
0.2nm
0.2nm
3nm
入射角
90
90
90
90
樣品材料
透明或半透明
透明或半透明
透明或半透明
透明或半透明
測量模式
反射/透射
反射/透射
反射/透射
反射/透射
光斑尺寸2
2mm
2mm
2mm
2mm
是否能在線
掃描選擇
XY可選
XY可選
XY可選
XY可選


注:1.取決于材料0.4%2nm之間取較大者。

       2.可選微光斑附件。


廣州貝拓科學技術有限公司
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