白光干涉薄膜厚度測量儀

產品介紹   

Delta薄膜厚度測量系統利用薄膜干涉光學原理，對薄膜進行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面，探頭同位接收反射光線。Delta根據反射回來的干涉光，用反復校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm，可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜，還可以測量n和k值。

產品特點

快速、準確、無損、靈活、易用、性價比高

技術原理

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應用領域

半導體（SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS，SOI等）

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)

LED (SiO2、光刻膠ITO等）

觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)

汽車(防霧層、Hard Coating DLC等）

醫學（聚對二甲苯涂層球囊/導尿管壁厚藥膜等）

技術參數




型號	Delta-VIS	Delta-DUV	Delta-NIR
波長范圍	380-1050nm	190-1100nm	900-1700nm
厚度范圍	50nm-40um	1nm-30um	10um-3mm
準確度1	2nm	1nm	10nm
精度	0.2nm	0.2nm	3nm
入射角	90°	90°	90°
樣品材料	透明或半透明	透明或半透明	透明或半透明
測量模式	反射/透射	反射/透射	反射/透射
光斑尺寸2	2mm	2mm	2mm
是否能在線	是	是	是
掃描選擇	XY可選	XY可選	XY可選




注：1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者。

       2.可選微光斑附件。